一种新开发的数字插间技术可非常详细地检查细达7.5μm的光罩解析度。无硬件验证系统的使用，可以实现扫描的同时，即时显示完成扫描结果。是整个扫描更加效率化。

一种新开发的检测逻辑显著改进了定位细小刻痕和突起、黑色和白色针孔，以及开路/短路缺陷的能力。

自动对焦功能作为一种标准功能。在检查期间，基于光罩表面的情况，该装置可实施实时自动对焦。它始终在焦点完全对准位置上进行扫描，实施高度可靠且精密的检查。另外，安装了适用于薄膜和玻璃罩的最佳定位治具，防止在处理中对光罩造成损坏。